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轉輪除濕機案例_半導體行業轉輪除濕機前景

日期:2020/7/21 0:00:00    點擊次數:6069    來源:鉑克空調

轉輪除濕機案例_半導體行業轉輪除濕機前景

          最近幾年,半導體產業風起云涌。一方面,中國半導體異軍突起。另一方面,全球產業面臨超級周期,加上人工智能等新興應用的崛起,大批的外資企業在中國設立其制造基地,特別是近年來半導體行業的大舉進入,其全新的生產工藝及生產過程中對環境溫度、濕度、潔凈度有較高的要求, 需要我們提供一個比較有效且比較低能耗的空調系統, 特別需要有低濕度的空調環境保證。

          半導體生產車間要求在全年四季的氣候條件下,維持相對穩定的環境,包括溫度、濕度、空氣潔凈度、氣流組織,壓力平衡等多個空調參數。有別于其他行業的恒溫恒濕空調系統,由于電子產品對靜電比較敏感和品質受高濕度環境的影響比較大,因此半導體行業要求更低的相對濕度環境。

半導體車間.jpg

          通常半導體生產車間的溫濕度要求為: T=22±2°C,RH=45 ±5%;雖然采用傳統的冷凍除濕 +電加熱(再熱)方式進行處理,也取得了一定成果。但這種方式存在一個致命的能耗問題,特別是半導體行業的大新風,大排風系統、生產環境為大空間潔凈環境以及目前許多廠主要集中分布在華南和華東地區的特殊情況,使得這個問題十分突出。 針對這種情況,合肥鉑克空調采用新風機組+轉輪除濕機+組合式空調機組的技術方案, 達到室內送風溫、濕度要求的同時,并取得了顯著的節能效果。

轉輪除濕機工作原理圖.jpg

          冷卻除濕循環系統與轉輪除濕機相結合,利用制冷系統的吸熱除濕進行前期除濕,而利用轉輪除濕機進行深度除濕。充分發揮兩者的優點,揚長避短。冷卻除濕作為前期除濕,突出了冷卻除濕機高露點工況下能耗低的特點,利用轉輪除濕進行深度除濕,突出了轉輪除濕機低溫低濕條件下,不受露點限制且除濕量大的優點。

          目前,空氣除濕主要有四種方式,通風除濕、冷卻除濕、液體吸濕劑除濕和固體吸附劑除濕。在空調除濕系統中,冷卻除濕和固體吸附劑除濕是主要手段。冷卻除濕在環境對濕度要求不是很高( RH>60~ 65%)的條件下,效果還是比較好,性能穩定且能耗也比較低,目前應用比較廣泛。但在生產環境對濕度要求較高(RH=45 ±5%)的地方,采用冷卻除濕就明顯是不經濟的。采用轉輪除濕機,將不受空氣露點影響,且除濕量大,特別適用于低濕條件下,但如果全部除濕僅采用固態吸附原理的轉輪除濕機進行,由于其再生耗能量也比較大,此種方案也不是最經濟的。由于轉輪除濕和冷卻除濕各有所長,將其優化組合,各取所長,互補所短,會更好的發揮其效能。

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